НИИТМ (Научно-исследовательский институт точного машиностроения)
С 1962 года
Россия
Центральный ФО РФ
Москва
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Содержание |
История
2025: Анонс установки для плазмохимического осаждения на 300-миллиметровых кремниевых пластинах
Первая российская установка для плазмохимического осаждения на 300-миллиметровых кремниевых пластинах была представлена в марте 2025 года. Разработка выполнена Научно-исследовательским институтом точного машиностроения (НИИТМ), входящим в Группу компаний «Элемент». До появления этого оборудования на российском рынке отсутствовали аналоги для работы с пластинами такого диаметра, а вся производственная база была ориентирована на импортные решения или установки, рассчитанные на 200-миллиметровые подложки.
Как пишут «Известия», пластины диаметром 300 мм являются сегодня мировым стандартом, на котором производится более 90% микросхем. Такой размер значительно увеличивает количество чипов, производимых на одной подложке, что в конечном итоге снижает их стоимость для потребителя.
Начальник отдела перспективных разработок НИИТМ Георгий Ерицян подчеркнул, что новый комплекс предназначен для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм, но имеет возможность изменения конфигурации для работы с пластинами 200 мм. Это обеспечивает плавный переход производств с действующих технологических процессов на новые стандарты.Профессиональные дисплеи для медучреждений: как цифровые технологии улучшают качество обслуживания пациентов и работу медперсонала 
Одним из ключевых достижений специалистов НИИТМ стала локализация производства значительного количества составных частей оборудования в короткие сроки. При этом разработанные базовые технологические процессы не уступают импортным аналогам. Георгий Ерицян отметил, что создание линейки отечественных промышленных установок, адаптированных под 300-миллиметровый формат, укрепит технологический суверенитет страны и её позиции на мировом рынке.
Разработка установки началась в конце 2021 года. За это время ученые-инженеры изготовили опытный образец кластерной структуры, состоящий из четырех различных технологических модулей, объединенных общей роботизированной транспортной системой для перемещения пластин.[1]
Примечания
